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HG/T 2423-2018 化學(xué)放大光致抗蝕劑的工藝參數(shù)描述規(guī)范現(xiàn)行

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-08-06

標(biāo)準(zhǔn)號：HG/T 2423-2018
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：化學(xué)放大光致抗蝕劑的工藝參數(shù)描述規(guī)范
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Specifications for parameter description for Chemical Amplified (CA) photoresist parameter
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
標(biāo)準(zhǔn)類型：國標(biāo)計劃
發(fā)布日期：1999/12/31 12:00:00
實施日期：1999/12/31 12:00:00
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：31.030
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位：中國科學(xué)院微電子研究所
相近標(biāo)準(zhǔn)： ?化學(xué)放大光致抗蝕劑的工藝參數(shù)描述規(guī)范;20141891-T-469 ?光致抗蝕劑靈敏度測量參數(shù)規(guī)范; ?增材制造工藝參數(shù)庫
標(biāo)準(zhǔn)制修訂：制訂

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