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GB/T 1551-2021 硅單晶電阻率的測定 直排四探針法和直流兩探針法 即將實施

作者:百檢網 時間:2021-07-14

標準號:GB/T 1551-2021
中文標準名稱:硅單晶電阻率的測定 直排四探針法和直流兩探針法
英文標準名稱:Test method for measuring resistivity of monocrystal silicon—In-line four-point probe and direct current two-point probe method
標準狀態:即將實施
發布日期:2021-05-21
實施日期:2021-12-01
中國標準分類號:H21
國際標準分類號:77.040
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會材料分會

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