GB/T 16945-2009 電子工業用氣體.氬
作者：百檢網 時間：2021-07-19
中文標準名稱：電子工業用氣體.氬
英文標準名稱：Gas for electronic industry.Argon
標準類型：G86
發布日期：2009/10/30 12:00:00
實施日期：2010/5/1 12:00:00
中國標準分類號：G86
國際標準分類號：71.100.20
引用標準：GB/T 3723;GB/T 4842-2006;GB/T 5832.1;GB/T 8984
適用范圍：本標準規定了氬的技術要求、試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。本標準適用于以深冷卻法從空氣、合成氨尾氣中提取的液態和氣態氬以及經純化方法得到的氬。氬用于系統的吹掃、保護和增壓，它還可以用于化學汽相淀積、濺射、等離子及活性離子刻蝕劑和退火等不同工藝中。
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