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GB/T 37049-2018 電子級多晶硅中基體金屬雜質(zhì)含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法現(xiàn)行

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-29

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 37049-2018
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子級多晶硅中基體金屬雜質(zhì)含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
發(fā)布日期：2018/12/28 12:00:00
實施日期：2019/4/1 12:00:00
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：青海黃河上游水電開發(fā)有限責(zé)任公司新能源分公司
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：77.040.30
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位：江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司
起草人：魯文鋒
相近標(biāo)準(zhǔn)：20141873-T-469 ?電子級多晶硅中基體金屬雜質(zhì)含量的測定電感耦合等離子體質(zhì)譜法;20210891-T-469 ?

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