潔凈室檢測潔凈室,亦稱無塵室或清潔室。潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音震動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計之房間。亦即是不論之外在空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能具有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。潔凈室*主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片)所接觸之大氣的潔凈度以及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造。檢測項目:1.懸浮粒子數(shù);2.游浮菌;3.沉降菌;4.溫度;5.相對濕度;6。換氣次數(shù);7風(fēng)量和風(fēng)速;8靜壓差;9.照度;10.噪聲級;11.高效過濾器檢漏;12.自凈時間;13.污染泄漏。