GB/T 30866-2014 碳化硅單晶片直徑測試方法 現(xiàn)行
作者：百檢網 時間：2021-07-21
中文標準名稱：碳化硅單晶片直徑測試方法
英文標準名稱：Test method for measuring diameter of monocrystalline silicon carbide wafers
標準狀態(tài)：現(xiàn)行
標準類型：國家標準
發(fā)布日期：2014/7/24 12:00:00
實施日期：2015/2/1 12:00:00
中國標準分類號：中國電子技術標準化研究院
國際標準分類號：29.045
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中國電子科技集團公司第四十六研究所
起草人：周智慧
相近標準：20091221-T-469 ?碳化硅單晶片直徑測試方法;20120289-T-469 ?碳化硅單晶片平整度測試方法;GB/T
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