DIN50450-1-1987 半導體工藝檢驗和材料;載氣體和滲氣體中雜質測定;用五氧化二磷測氫中等雜質
作者：百檢網 時間：2021-07-21
中文標準名稱：半導體工藝檢驗和材料;載氣體和滲氣體中雜質測定;用五氧化二磷測氫中等雜質
英文標準名稱：Testingofmaterialsforsemiconductortechnology;determinationofimpuritiesincarriergasesanddopinggases;determinationofwaterimpurityinhydrogen,oxygen,nitrogen,argonandheliumbyusingadiphosphoruspentoxidecell
中國標準分類號：L56
國際標準分類號：71.100.20
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