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GB/T16524-1996 光掩模對準(zhǔn)標(biāo)記規(guī)范

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-07-22

標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T16524-1996
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：光掩模對準(zhǔn)標(biāo)記規(guī)范
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Specificationforregistrationmarksforphotomasks
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：L55
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：31.2
被以下標(biāo)準(zhǔn)代替：SEMIP6-1988,修改采用

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