一般工業(yè)廢氣處理的氣體包括：丙酮、丁酮、丁醇、甲醇、甲醛、苯、甲苯、二甲苯、苯乙烯、甲基叔丁基醚、乙酸乙酯、次甲基氯、乙烷、戍烷、天然氣、汽車尾氣、硫化氫、二硫化氫、硫醇、氨氣和各種有機廢氣、酸堿廢氣。方法有：活性炭吸附法、催化燃燒法、催化氧化法、酸堿中和法、生物洗滌、生物滴濾法、等離子法等。主要在化工廠，電子廠，印刷廠，噴漆車間，涂裝廠，食品廠，橡膠廠，涂料廠，石化行業(yè)這些場所進行。

工業(yè)廢氣的種類頗多，因此針對相應(yīng)的工業(yè)廢氣，采用科學(xué)創(chuàng)新的技術(shù)，進行技術(shù)的的組合與拆分，能夠更好更高效的對污染物進行治理。例如低溫等離子技術(shù)與UV光解凈化的組合、轉(zhuǎn)輪濃縮和高溫等離子體焚燒技術(shù)的組合。
以低溫等離子技術(shù)與UV光解凈化的組合為例，這兩種方法的協(xié)同運作，使其工作區(qū)域相互融合，增強了電子的二次激發(fā)，形成場強加強區(qū)，放大了各自的降解效率，使污染物降解完全。

在設(shè)備方面，目前有十幾種工業(yè)廢氣處理設(shè)備，這些設(shè)備仍然一些缺點如體積龐大、處理效率低、處理不全面等，應(yīng)用到生產(chǎn)中不但會增加生產(chǎn)成本還會對生產(chǎn)效率造成影響。對工業(yè)廢氣的防治技術(shù)和設(shè)備進行改進，將會提高工業(yè)廢氣的處理效率，并減少因其排放而帶來的危害。所以，我們要不斷的革新工業(yè)廢氣的治理技術(shù)，投入人力物力財力，開發(fā)新的治理技術(shù)，增設(shè)更先進的設(shè)備，并結(jié)合當(dāng)前的大氣治理需求和環(huán)境特質(zhì)選擇適當(dāng)?shù)姆椒ǎ龠M良好環(huán)境的建設(shè)。