測試目的:定性或定量的對試樣微區的元素含量和元素組成進行分析。
測試項目:能譜分析。
測試目的:定性或定量的對試樣微區的元素含量和元素組成進行分析。
項目介紹:當一種高能量電子束作用到一個試樣上時會產生X射線,這種X射線隨著試樣中不同的化學組成(原子類別)特征而具有不同的能量(波長)。每種元素的X射線強度與該元素在試樣中的含量相關。本測試正是通過能譜法來檢測這些特征X射線的強度來得到元素的組成和含量。能譜分析的特點:
測試要求:
測試標準 | 標準名稱 | 樣品要求 | 測試內容 | 適用范圍 |
GB/T 17359-2012 | 微束分析 能譜法定量分析 | 分析材料應在變化壓力下和電子束轟擊下穩定。樣品測試表面應平整無污染。 | 測定元素含量 | 質量分數高于1%的元素;分析原子序數大于10的元素分析置信度更高 |
ASTM E1508-2012a(2019) | 能譜法定量分析指南 | 分析材料應在變化壓力下和電子束轟擊下穩定。樣品測試表面應平整無污染。 | EDS測定單質濃度 | 元素含量高于或等于0.1%時分析更快更準確 |
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