廠家:ThermoFisher(美國)
型號:ESCALAB Xi+
主要參數:
分辨率:XPS能量分辨率≤0.43 eV
靈敏度:大面積XPS,Ag 3d5/2?(FWHM≤1.0 eV)強度大于106CPS
平行化學成像
角分辨ARXPS分析
紫外光電子能譜(UPS)
X射線光電子能譜分析的基本原理:一定能量的X光照射到樣品表面,和待測物質發生作用,將樣品表面原子中不同能級的電子激發成自由電子,然后收集這些帶有樣品表面信息并具有特征能量的電子,通過研究他們的能量分布來確定樣品表面的組成和結構。
根據Einstein的能量關系式有:hv =Eb+Ek
hv: 入射X光子的能量
Eb: 內層電子的軌道結合能
Ek: 入射電子所激發出的光電子的動能
其中若以真空能級來算結合能有:
EbV= hv-Ek-(ФSpectr-ФS)
EbV與以Fermi能級算起的結合能EbF間有:
EbV=EbF+ФS
因此有:
EbF= hv-Ek-ФSpectr
ФSpectr: 能譜儀的功函數, ФS: 樣品的功函數
因此通過測量接受的的電子的動能就可得元素的結合能
根據結合能的不同可以確定表面存在的元素,對給定原子的某給定內殼層電子的結合能還與該原子的化學結合狀態及其化學環境有關,隨著該原子所在分子的不同,該給定內殼層電子的光電子峰會有位移,可用于確定元素的氧化態,價態等信息。
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