1、 范圍

GB/T 11446.1-2013 的本部分規(guī)定了電子級水的級別、技術(shù)指標要求、試驗方法和檢測規(guī)則。

本部分使用與電子和半導(dǎo)體工業(yè)永高純清洗用水。

2、水質(zhì)標準

項目

技術(shù)指標

EW-Ⅰ

EW-Ⅱ

EW-Ⅲ

EW-Ⅳ

電阻率（25℃）/

MΩ·cm

≥18
（5%時間不低于17）

≥15
（5%時間不低于13）

≥12

≥0.5

全硅/（μg/L）

≤2

≤10

≤50

≤1000

微粒數(shù)/
（個/L）

0.05μm~0.1μm

500

-

-

-

0.1μm~0.2μm

300

-

-

-

0.2μm~0.3μm

50

-

-

-

0.3μm~0.5μm

20

-

-

-

＞0.5μm

4

-

-

-

細菌個數(shù)/（個/mL）

≤0.01

≤0.1

≤10

≤100

銅/（μg/L）

≤0.2

≤1

≤2

≤500

鋅/（μg/L）

≤0.2

≤1

≤5

≤500

鎳/（μg/L）

≤0.1

≤1

≤2

≤500

鈉/（μg/L）

≤0.5

≤2

≤5

≤1000

鉀/（μg/L）

≤0.5

≤2

≤5

≤500

鐵/（μg/L）

≤0.1

-

-

-

鉛/（μg/L）

≤0.1

-

-

-

氟/（μg/L）

≤1

-

-

-

氯/（μg/L）

≤1

≤1

≤10

≤1000

亞硝酸根/（μg/L）

≤1

-

-

-

溴/（μg/L）

≤1

-

-

-

硝酸根/（μg/L）

≤1

≤1

≤5

≤500

磷酸根/（μg/L）

≤1

≤1

≤5

≤500

3、水質(zhì)檢驗

1電阻率

電子級水的電阻率按GB/T 11446.4-013進行測定。

2全硅含量（以二氧化硅計）

電子級水全硅（以二氧化硅計）含量按GB/T 11446.6-2013進行測定。

3微粒數(shù)

電子級水中微粒數(shù)按GB/T 11446.9-2013進行測定。

4細菌總數(shù)

電子級水中細菌總數(shù)按GB/T 11446.10-2013進行測定。

5痕量金屬含量

電子級水中痕量金屬的含量按GB/T 11446.5-2013進行測定。

6氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量

電子級水中氟離子、氯離子、亞硝酸根離子、溴離子、硝酸根離子、磷酸根離子、硫酸根離子的含量按GB/T 11446.7-2013進行測定。

7總有機碳含量

電子級水中總有機碳含量按GB/T 11446.8-2013進行測定。