1、風速風量換氣次數

潔凈室、潔凈區的潔凈度主要是靠送入足夠量的潔凈空氣，以排替、稀釋室內產生的顆粒污染物來實現的。為此，測定潔凈室或潔凈設施的送風量、平均風速、送風均勻性、氣流流向及流型等項目十分必要。

單向流主要是依靠潔凈氣流推擠、排替室內、區內的污染空氣以維持室內、區內的潔凈度。因此，其送風斷面風速及均勻性是影響潔凈度的重要參數。較高的、較均勻的斷面風速能更快、更有效地排除室內工藝過程產生的污染物，因此它們是主要關注的檢測項目。

非單向流主要是靠送入的潔凈空氣來沖淡與稀釋室內、區內的污染物以維持其潔凈度。因此，換氣次數越大，氣流流型合理，稀釋效果越顯著，潔凈度也相應提高。所以非單相流潔凈室、潔凈區的送風量及相應的換氣次數，是主要關注的氣流測試項目。

為了獲得可重復的讀數，記錄各測點風速的時間平均值。

換氣次數：根據潔凈室總風量除以法凈室的容積求得

2、溫濕度

潔凈室或潔凈設施溫、濕度測定，通常分為兩個檔次：一般測試和綜合測試。**個檔次適用于處于空態的交竣驗收測試，第二個檔次適用于靜態或動態的綜合性能測試。這類測試適用于對溫度、濕度性能要求比較嚴格的場合。

本檢測在氣流均勻性檢測之后和空調系統調整之后進行。進行這項檢測時，空調系統已經充分運轉，各項狀況已經穩定。每個濕度控制區至少設置一個濕度傳感器，并且給傳感器充分的穩定時間。所做測量應適合實際使用的目的，待傳感器穩定之后才開始測量，測量時間不少于5分鐘。

3、壓差

這項檢測的目的是驗證完工設施與周圍環境之間、設施內各空間之間保持規定壓差的能力。這項檢測適用于所有3種占用狀態。需要定期進行這項檢測。

壓差的測試應在所有的門都關閉的條件下，由高壓向低壓、由平面布置上與外界*遠的里間房間開始，依次向外測試;有孔洞相通的不同等級相鄰的潔凈室(區)，其洞口處宜有合理的氣流流向等等。

壓差檢測要求：

(1)靜壓差的測定要求在潔凈區內的所有門全部關閉情況下進行。

(2)在潔凈平面上應從潔凈度由高到低的順序依次進行，一直檢測到直通室外的房間。

(3)測管口設在室內沒有氣流影響的任何地方均可，測管口面與氣流流線平行。

(4)所測量記錄的數據應精確到 1.0Pa。