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雙束聚焦離子束微納加工儀

作者:百檢網(wǎng) 時(shí)間:2021-11-11 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng)

聚焦離子束技術(shù)(FIB)是一種集形貌觀測(cè)、定位制樣、成分分析、薄膜淀積和無(wú)掩膜刻蝕各過(guò)程于一身的新型微納加工技術(shù)。聚焦的離子束在半導(dǎo)體行業(yè)有著重要作用,可用來(lái)切割納米級(jí)結(jié)構(gòu),對(duì)光刻技術(shù)中的屏蔽板進(jìn)行修補(bǔ),分離和分析集成電路的各個(gè)元件,激活由特殊原子組成的材料,使其具有導(dǎo)電性等等。它可用來(lái)分析樣品化學(xué)成分、進(jìn)行生物研究以及制造保持血管暢通的心臟固定膜等微型醫(yī)學(xué)植入材料。其基本功能可概括為: 定點(diǎn)切割, 選擇性的材料蒸鍍,強(qiáng)化性蝕刻或選擇性蝕刻, 蝕刻終點(diǎn)偵測(cè)。在透射電鏡試樣制作方面,聚焦離子束顯微鏡是一個(gè)優(yōu)
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