作者:百檢網(wǎng) 時(shí)間:2021-11-11 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng)
RIE源功率:0 - 600 W 刻蝕均勻性:±5% ( 4英寸 ) 裝片:一片4英寸,向下兼容任意規(guī)格樣品 刻蝕氣體:SF6,CF4,CHF3,Ar,O2
在反應(yīng)離子刻蝕中,氣體放電產(chǎn)生的等離子體中有大量化學(xué)活性的氣體離子,這些離子與材料表面相互作用導(dǎo)致表面原子產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng),生成可揮發(fā)產(chǎn)物。這些揮發(fā)產(chǎn)物隨真空抽氣系統(tǒng)被排走。隨著材料表層的“反應(yīng)-剝離-排放”的周期循環(huán),材料被逐層刻蝕到指定深度。除了表面化學(xué)反應(yīng)外,帶能量的離子轟擊材料表面也會(huì)使表面原子濺射,產(chǎn)生一定的刻蝕作用。所以,反應(yīng)離子刻蝕包括物理和化學(xué)刻蝕兩者的結(jié)合。
主要用于Si,SiO2,SiNx的刻蝕以及光刻膠的去除等,廣泛應(yīng)用于物理,生物,化學(xué),材料,電子等領(lǐng)域。
600元、小時(shí)
培訓(xùn)后預(yù)約收費(fèi)使用
1、檢測(cè)行業(yè)全覆蓋,滿足不同的檢測(cè);
2、實(shí)驗(yàn)室全覆蓋,就近分配本地化檢測(cè);
3、工程師一對(duì)一服務(wù),讓檢測(cè)更精準(zhǔn);
4、免費(fèi)初檢,初檢不收取檢測(cè)費(fèi)用;
5、自助下單 快遞免費(fèi)上門(mén)取樣;
6、周期短,費(fèi)用低,服務(wù)周到;
7、擁有CMA、CNAS、CAL等權(quán)威資質(zhì);
8、檢測(cè)報(bào)告權(quán)威有效、中國(guó)通用;
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