作者:百檢網 時間:2021-11-11 來源:互聯網
主要用于濺射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn等金屬薄膜,AlN、SiO2等介質薄膜 *限真空:7E-8 Torr( 30分鐘從 atm 抽到 5E-6 Torr ) 薄膜均勻性:±5% ( 4英寸 ) 靶源:2個4英寸,4個2英寸。樣品兼容4英寸及以下尺寸。 電源:具備RF(600W), DC 和 Pulse DC(1KW) 樣品溫度:0-500oC 工藝氣體:Ar, O2, N2
電子在電場E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發生碰撞,使其電離產生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場作用下加速飛向陰*靶,并以高能量轟擊靶表面,使靶材發生濺射。在濺射粒子中,中性的靶原子或分子沉積在基片上形成薄膜,而產生的二次電子借助于靶表面上形成的正交電磁場,被束縛在靶表面特定區域,增強電離效率,增加離子密度和能量,從而實現高速率濺射。是制備低維度,小尺寸納米材料器件的必備實驗手段,廣泛應用于集成電路,光子晶體,低維半導體等領域。
濺射Ti、Al、Ni、Au、Ag、Cr、Pt、Cu、TiW、Pd、Pt、Zn等金屬薄膜,AlN、SiO2等介質薄膜
1200
每小時800元 60元/10nm貴金屬
1、檢測行業全覆蓋,滿足不同的檢測;
2、實驗室全覆蓋,就近分配本地化檢測;
3、工程師一對一服務,讓檢測更精準;
4、免費初檢,初檢不收取檢測費用;
5、自助下單 快遞免費上門取樣;
6、周期短,費用低,服務周到;
7、擁有CMA、CNAS、CAL等權威資質;
8、檢測報告權威有效、中國通用;
下一篇《高溫凝膠滲透色譜儀》
①本網注名來源于“互聯網”的所有作品,版權歸原作者或者來源機構所有,如果有涉及作品內容、版權等問題,請在作品發表之日起一個月內與本網聯系,聯系郵箱service@baijiantest.com,否則視為默認百檢網有權進行轉載。
②本網注名來源于“百檢網”的所有作品,版權歸百檢網所有,未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用。想要轉載本網作品,請聯系:service@baijiantest.com。已獲本網授權的作品,應在授權范圍內使用,并注明"來源:百檢網"。違者本網將追究相關法律責任。
③本網所載作品僅代表作者獨立觀點,不代表百檢立場,用戶需作出獨立判斷,如有異議或投訴,請聯系service@baijiantest.com