1質(zhì)量數(shù)范圍：1～200 amu 2檢測*限：0.1～1ppm 3測量通道：大于200個 4旁路排氣系統(tǒng)：單獨旁路泵抽取系統(tǒng)，快速將多余氣體排出系統(tǒng)，保證快速響應(yīng)。 5氣體取樣管：內(nèi)置石英玻璃毛細管，外部為不銹鋼套。加熱溫度至200℃。2米長。 柔韌，彎曲方便、靈活。進樣口為1/8英寸標準接口，并具有轉(zhuǎn)換為∮3的附件 6響應(yīng)時間：150毫秒/米毛細管 7取樣氣體流量：1～20sccm，可調(diào)節(jié) 8進樣壓力：100mbar～2bar，自適應(yīng) 9*小掃描步階：0.01amu 10快速掃描速度：100amu/s 11*小檢測分壓：法拉第杯檢測器1×10－11mbar;電子倍增器5×10－14mbar 12壓力顯示：具有真空計在儀器外部顯示質(zhì)譜儀工作壓力 13溫度輸入：可以將化學(xué)吸附儀的溫度信號傳入質(zhì)譜儀軟件 14外部信號接口：可將溫度（需轉(zhuǎn)換為模擬信號）等接入質(zhì)譜儀并顯示在軟件上 15軟離子化技術(shù)：離子源可改變電離電壓0～50eV 16離子源：電子轟擊離子源，銥燈絲，抗污染強、壽命長 17離子源控制：(1)電子能量：0～150eV；(2)離子源離子能量：0～10eV;

各種氣體分析。