作者:百檢網(wǎng) 時(shí)間:2021-11-11 來源:互聯(lián)網(wǎng)
分辨率5nm,30kV加速電壓,離子束流1-11000pA
FIB200目前主要用以0.18um 以上集成電路修補(bǔ)包括Pt互連,新型輔助氣體搭配離子束快速切割,低阻值探點(diǎn)的快速生成,電阻模擬,X-section 和TEM lamella 的制備等.
FIB(聚焦離子束)機(jī)臺(tái)的應(yīng)用即是將混合鎵、液體及金屬的離子源照射于樣品表面,以取得影像或去除物質(zhì),此功能與SEM(掃描電子顯微鏡)相似。 但FIB的發(fā)送電壓由30kv升至50kv,使鎵離子以大于電子125倍的密度撞擊樣品表面,過程不需要加入鹵氣,而是以物理噴濺的方式讓有機(jī)氣體搭配電子或離子槍,有效剝除金屬或硅氧層。
1000/元
無
1、檢測行業(yè)全覆蓋,滿足不同的檢測;
2、實(shí)驗(yàn)室全覆蓋,就近分配本地化檢測;
3、工程師一對一服務(wù),讓檢測更精準(zhǔn);
4、免費(fèi)初檢,初檢不收取檢測費(fèi)用;
5、自助下單 快遞免費(fèi)上門取樣;
6、周期短,費(fèi)用低,服務(wù)周到;
7、擁有CMA、CNAS、CAL等權(quán)威資質(zhì);
8、檢測報(bào)告權(quán)威有效、中國通用;
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