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薄膜熱導儀

作者:百檢網 時間:2021-11-11 來源:互聯網

主要用于薄膜樣品熱導率的測試。特色可以選擇測試模式(1 FF 前端加熱、前端探測 2 RF 后端加熱、前端探測),*小可以測80nm厚薄膜樣品變溫熱導率、腔室真空度可以達到10E-4 mbar且測試時可以充流動氣體。
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