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柔性襯底磁控濺射系統(tǒng)

作者:百檢網(wǎng) 時間:2021-11-11 來源:互聯(lián)網(wǎng)

  • 詳細信息

    主要技術指標:

    襯底纏繞在收放卷筒上,收卷筒采用步進電機+精密行星減速器+磁流體密封組件帶動轉動,樣品移動速度:5—10mm/min,連續(xù)可調、 自動控制。在襯底背面對襯底加熱,加熱爐為電阻式,樣品加熱溫度:室溫~200℃,加熱控溫采用自動溫度控制器,加熱面積140´100 mm2

    主要功能:

    本系統(tǒng)為在柔性襯底上連續(xù)鍍膜的高真空磁控濺射設備,用于鍍制單層膜。

  • 服務信息

    服務內容:

    本系統(tǒng)為在柔性襯底上連續(xù)鍍膜的高真空磁控濺射設備,用于鍍制單層膜。

    收費標準:

    800

    用戶須知:

    http://cmns.fudan.edu.cn/Data/View/226

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