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銅互連超薄籽晶層集成濺射和測試系統

作者:百檢網 時間:2021-11-11 來源:互聯網

  • 詳細信息

    主要技術指標:

    1.安裝輪緣:DN 150CF 2.溫度范圍:130 - 650 K(SPM),1000 K(STM) 3.溫度穩定性:更好±2 K(150K ... 1000 K) 4.原位接入:鏡面和蒸發 5.掃描范圍:1.500 nm x 1.500 nm 6.敏感Z范圍:±175 nm 7.速度:*高1毫米/分鐘 8.漂移率:<0.05 nm / min(垂直),<0.15 nm / min(水平) 9.穩定性:<10 pm 10.溫度控制:2個受控子系統,用于樣品和掃描儀

    主要功能:

    Aarhus 150-MBE-BO-III-V-4Z/Multiprobe 2/2 HRSEM: *大1''的基板尺寸可以直接從沉積室轉移到SPM。 通過使用夾緊機構,樣品架可以固定到SPM上。 由此可以達到與10mm×10mm基板相同的穩定性。 由于額外的基板加熱器,溫度可以在測量期間設置為130 K至650 K(對于具有KolibriSensor的SPM)或1000 K(具有STM**)。 因此,新鮮生長的薄MBE薄膜的SPM研究可以在沒有污染的情況下進行,甚至在較高溫度下也可以在較大的基底上進行。

  • 服務信息

    服務內容:

    生長的薄MBE薄膜的SPM研究可以在沒有污染的情況下進行,甚至在較高溫度下也可以在較大的基底上進行,和SPM檢測。

    收費標準:

    3000元/樣品

    用戶須知:

    請聯系重點實驗室相關對外服務負責人

  • 百檢網專注于為第三方檢測機構以及中小微企業搭建互聯網+檢測電商服務平臺,是一個創新模式的檢驗檢測服務網站。百檢網致力于為企業提供便捷、高效的檢測服務,簡化檢測流程,提升檢測服務效率,利用互聯網+檢測電商,為客戶提供多樣化選擇,從根本上降低檢測成本提升時間效率,打破行業壁壘,打造出行業創新的檢測平臺。

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    客戶案例展示

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    • 浙江圣達生物藥業股份有限公司
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    • 無錫露米婭紡織有限公司
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