1.范圍

本標準規定了蒸發金的要求、試驗方法、檢驗規則和標志、包裝、運輸、貯存。

本標準主要適用于制造半導體器件用芯片時背金用蒸發金。

2.規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,僅注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其*新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

GB/T 11066(所有部分) 金化學分析方法

GB/T 15077 貴金屬及其合金材料幾何尺寸測量方法

GB/T 25934(所有部分) 高純金化學分析方法

3.要求

3.1 產品分類

3.1.1 蒸發金產品按化學成分分為Z-Au99.99和Z-Au99.99兩種牌號。

3.1.2 蒸發金產品主要以片狀、柱狀和線盤狀為主,產品形狀及供貨狀態應滿足表1的要求。需方有其他要求時由供需雙方協商解決。

3.2 產品標記示例

3.2.1 柱狀蒸發金標記

示例:直徑為5mm、長度為20mm、成分為99.999%的柱狀蒸發金產品 標記為:Z-Au99.999,Φ5×20mm。

3.2.2 蒸發金片狀產品標記

示例:長為10mm、寬為10mm、厚為2mm的片狀蒸發金產品 標記為:Z-Au99.999,10×10×2mm。

3.2.3 蒸發金線盤狀產品標記

示例:線徑為0.5mm、每盤200g重量的線盤狀蒸發金產品 標記為:Z-Au99.999,Φ0.5mm,200g/線盤。

3.3 化學成分

產品化學成分應符合表2的要求,其中金質量分數為****減去表中規定的雜質實測值的總和而得。需方對某種特定雜質元素含量有要求的,按供需雙方協商進行。

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下載地址：《GB/T 26312-2010 蒸發金》