1 范圍

本標準規定了半導體用透明石英玻璃器件的術語和定義、分類和標記、材料、要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、包裝、運輸和貯存等。

本標準適用于半導體行業生產中使用的透明石英玻璃器件，包括透明石英玻璃擴散管、透明石英玻璃舟、透明石英玻璃倸溫桶、透明石英托架、透明石英瓶和透明石英清洗缸等。

其他用途的透明石英玻璃器件可參照本標準執行。

2 規范性引用文件

下列文件對于本文件的應用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，僅所注日期的版本適用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其*新版本(包括所有的修改單)適用于本文件。

JC/T 597-2011 半導體用透明石英玻璃管

JC/T 2064-2011 半導體用透明石英玻璃棒

3 術語和定義

JC/T 597-2011 界定的術語和定義適用于本文件。

4 分類和標記

4.1 分類

按用途分為太陽能級透明石英玻璃器件(T級)和電子級透明石英玻璃器件(級)。

4.2 標記

產品按分類(T或D)、名稱、規格、生產批號和標準編號的序號標記。

示例：符合JC/T 181-2011，外徑為305Mm，長度為2000mm，生產批號為20090710的電子級透明石英玻璃擴散管標記為：

D-擴散管-305×2000-20090710-JC/T 181-2011

5 材料

5.1 透明石英玻璃器件所用石英管、石英棒應符合JC/T 597-2011及JC/T 2064-2011中對應的T級或D級產品的要求。

5.2 透明石英玻璃器件所用石英板應無肉眼可見的氣泡、氣線、劃痕等外觀缺陷，雜質元素含量應符合JC/T 597-2011中對應的T級或D級產品的要求。

6 要求

6.1 規格尺寸及尺寸偏差

由供需雙方商定。

6.2 外觀質量

6.2.1 所有接口的焊點應結實、牢固，接縫應平滑、無堆料、無變形。

6.2.2 不允許有析晶、炸裂、云霧、色斑、水跡、臟物;揪痕應無明顯凸凹不平、光滑平整。

6.2.3 在平臺上放置不應有明顯歪斜、晃動，外形應均勻對稱。

6.2.4 磨口不允許有亮面。

6.3 應力

透明石英玻璃器件在應力儀中觀察只允許呈現均勻紫紅色。

6.4 磨口密封性

透明石英玻璃器件盛水后不滲出。

7 試驗方法

7.1 規格尺寸及尺寸偏差

采用分辨率不低于被測參數允許公差的三分之一的儀器或設備。

7.2 外觀質量

在自然光下，采用目測檢查。

7.3 應力

將產品平放在于涉色為紫紅色的應力儀視場中，移動或旋轉試樣，使視場中出現亮度*大的干涉色，觀察試樣各部位的顏色。

7.4 磨口密封性

將水盛入磨口透明石英玻璃器件中，在不涂油脂的情況下，將塞塞緊，使水完全浸潤磨口，20s后，用濾紙擦拭，觀察水液是否滲出。

8 檢驗規則

8.1 檢驗項目

按第6章的要求。

8.2 判定規則

每件產品均需符合第6章中的所有要求，若有一項不合格，則判該件產品不合格。

9 標志、包裝、運輸和貯存

9.1 標志

9.1.1 每批產品出廠時應附有產品合格證書，內容包括：

a）產品分類（T或D）、產品名稱；

b）產品規格；

c）生產批號；

d）標準代號；

e）檢驗員編號。

9.1.2 包裝箱上應有儲運圖示標志，如“玻璃制品”、“小心輕放”、“請勿倒置”、“防潮”等字樣或圖形以及產品標記、廠名或商標。

9.2 包裝

產品在潔凈環境下先單件包裝，包裝應滿足防護、防塵的要求，避免產品的劃傷、破損及污染。單件包裝后如需再集裝時，包裝也應滿足防護、防塵的要求。產品包裝隨箱放入產品合格證及裝箱單。裝箱單應注明數量或重量、裝箱日期等。

9.3 運輸

在運輸及搬運過程中要注意輕拿輕放，應有防雨措施。

9.4 貯存

產品應貯存在無有害氣體、干燥清潔的室內。

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