薄膜表面測試_薄膜特性檢測
作者：百檢網 時間：2021-12-06 來源：互聯網
薄膜表面測試_薄膜特性檢測
背景介紹：材料表面及其涂層在創新產品中發揮著越來越重要的作用。 產品表面 1 納米厚度范圍的結構和化學成分可能影響和決定產品功能，所以您需要了解薄膜表面的精確結構以確保獲得期望的功能。劑拓科技提供專業的分析和成像技術，助您分析薄膜類產品。包括薄膜成分檢測、薄膜表面分析及薄膜產品剖析檢測服務。
薄膜成分檢測：針對薄膜表面成分分析主要的測試方法：
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方法 | X射線電子能譜(XPS) | 俄歇電子能譜 (AES) | X射線熒光光譜(XRF) | X射線能譜 (EDS) |
方法概述 | 表面成分的超微量和痕量檢測方法。 | 進行成分的深度剖析、薄膜及界面分析。 | 固體、液體、粉末測試。 | 對材料微區進行元素種類與含量測定，配合掃描電鏡使用。 |
檢測靈敏度 | 10-2-10-3 | 10-2-10-3 | >10-2 | >10-2 |
應用特點 | 無損檢測，可作為定量分析 | 可分析H\He以外的所有元素，對樣品表面要求較高，可作為定量分析。 | 測試Z=0-80的所有元素，含量ppm級-****。同時可以測量外延層晶格參數。 | 只能測Z>11的元素,準確性較低 |
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薄膜表面分析：針對薄膜表面形貌主要的測試方法：
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測試方法 | 適用條件 |
掃描電子顯微鏡（SEM）/場發射掃描電子顯微鏡 | 薄膜表面斷面形貌分析, 填料分散狀態復合材料結構, 材料晶型分析晶粒大小,材料物相分析。結合EDS進行元素定性分析。 |
透射電鏡（TEM） | 透射電鏡可以表征樣品的質厚襯度，也可以表征樣品的內部晶格結構，獲得高倍放大倍數的電子圖像；得到電子衍射花樣。 ? |
掃描隧道顯微鏡（STM） | 掃描隧道顯微鏡作為一種掃描探針 |
原子力顯微鏡（AFM） | AFM提供真正的 |
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薄膜配方剖析：通過紅外光譜（FTIR）、核磁共振（1HNMR）、質譜（MS）、X射線衍射分析（XRD）、ICP-MS、X-熒光光譜分析、離子色譜分析等技術解析薄膜的配方剖析。
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