作者:百檢網 時間:2021-12-06 來源:互聯網
掃描電鏡原理
依據電子與物質的相互作用。樣品表面加一個強電場,樣品表面勢壘降低,由于隧道效應,樣品金屬內部的電子穿過勢壘從金屬表面發射出來,這種現象稱場發射。亮度高約比普通SEM高100倍,分辨率可達10nm.
儀器技術參數
二次電子分辨率: 1.4nm (1 kV,減速模式)
放大倍率: x 20~ x 800,000
電子槍: 冷場發射電子源
送樣要求
應用領域
1.金屬、非金屬及復合材料的觀察分析;
2.納米粉及納米粉體的形貌觀察和粒度測量統計;
3.微區成分的定性、定量計算,并對重點區域做元素分布圖;
4.可對固體材料的表面涂層、鍍層進行結合情況觀察和厚度測量;
5.機械設備、壓力容器、管道及汽車零件的失效分析。
適用標準
GB/T 16594-2008微米級長度的掃描電鏡測量方法通則
GB/T 17362-2008 黃金制品的掃描電鏡X射線能譜分析方法
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