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二次離子質(zhì)譜SIMS對(duì)半導(dǎo)體元素?fù)诫s濃度的分析

作者:百檢網(wǎng) 時(shí)間:2022-05-16 來(lái)源:互聯(lián)網(wǎng)

在半導(dǎo)體工業(yè)中,對(duì)半導(dǎo)體加入特定雜質(zhì)的動(dòng)作,稱(chēng)為“摻雜”,這些外來(lái)雜質(zhì),使半導(dǎo)體的電性發(fā)生改變,隨著器件關(guān)鍵尺寸不斷縮小,對(duì)主要參數(shù)精度要求,也水漲船高,元素污染,能量污染或其他的某些因素,都會(huì)導(dǎo)致相關(guān)電性參數(shù)的失效現(xiàn)象,為此需要進(jìn)行相關(guān)的檢測(cè)分析方法,常見(jiàn)方法有X射線光譜儀表面元素污染掃描,二次離子質(zhì)譜分析等。實(shí)驗(yàn)室可以利用SIMS二次離子質(zhì)譜進(jìn)行摻雜元素濃度檢測(cè)。

SIMS全稱(chēng)二次離子質(zhì)譜(SecondIonMassSpectroscopy),是一種前沿的表面分析技術(shù),原理是通過(guò)利用一次離子束不斷地轟擊靶材,使靶材表面的原子層出現(xiàn)濺射,濺射出正離子(團(tuán)),負(fù)離子(團(tuán)),中性粒子和光(電)子等,通過(guò)收集特定荷質(zhì)比的帶電粒子得到我們想要分析的表面元素信息;其超高的靈敏度,對(duì)某些元素的檢測(cè)*限能夠達(dá)到PPB的數(shù)量級(jí)。

SIMS選取的一次離子束的能量和電流密度,應(yīng)根據(jù)所分析樣品的IMP元素種類(lèi)和Rp值深度范圍,做出相應(yīng)調(diào)整。避免造成嚴(yán)重破壞IMP深度分布曲線原貌進(jìn)行摻雜工藝劑量分析時(shí),應(yīng)多次重復(fù)測(cè)量,劑量偏差不應(yīng)超出3%。準(zhǔn)確和直觀檢測(cè)出摻雜工藝的微小異常元素濃度的分析。

二次離子質(zhì)譜SIMS對(duì)半導(dǎo)體元素?fù)诫s濃度的分析

各種元素受濺射域能等的影響,二次離子質(zhì)譜定性定量分析的難度增加,實(shí)驗(yàn)室提供進(jìn)行TOF-SIMS元素?fù)诫s濃度分析,TOF-SIMS全稱(chēng)飛行時(shí)間二次離子質(zhì)譜,一次離子源通常有剝離源和分析源,離子束對(duì)樣品表面進(jìn)行轟擊產(chǎn)生的二次離子,通過(guò)對(duì)分子離子峰和官能團(tuán)碎片的分析,可以方便的確定表面化合物和有機(jī)樣品的結(jié)構(gòu),決定了它在半導(dǎo)體表征方面具有的優(yōu)異而又獨(dú)特的功用,除此之外可以廣泛應(yīng)用于化學(xué),生物,制藥,微電子,空間分析等工業(yè)和研究領(lǐng)域。

實(shí)驗(yàn)室遵照ISO17025和GMP進(jìn)行實(shí)驗(yàn)室管理,專(zhuān)注為生產(chǎn)過(guò)程中可能產(chǎn)生的雜質(zhì)提供評(píng)估報(bào)告、為方法開(kāi)發(fā)驗(yàn)證及樣品元素檢測(cè)等提供一系列的解決方案,常規(guī)檢測(cè)平均3天出結(jié)果,加急樣品支持當(dāng)天到當(dāng)天出報(bào)告。

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