GB/T 26250-2010 電子工業用氣體 砷化氫--百檢網
作者：荀彧 時間：2022-11-08 來源：互聯網
【中文標準名稱】: 電子工業用氣體 砷化氫
【標準號】: GB/T 26250-2010
【標準狀態】: 現行
【發布日期】: 2011-01-14
【實施日期】: 2011-05-01
【發布部門】: 中華人民共和國國家質量監督檢驗檢疫總局;中國國家標準化管理委員會
【起草單位】: 西南化工研究設計院;上海華愛色譜分析技術有限公司;光明化工研究設計院
【起草人】: 孫福楠;方華;周鵬云;莊鴻濤;李建浩
【標準技術委員會】: 全國半導體設備和材料標準化技術委員會氣體分技術委員會(SAC/TC 203/SC 1)
【中國標準分類號】: G86
【國際標準分類號】: 71_100_20
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