1總則

1.0.1為在電子工業廢氣處理工程設計中貫徹執行國家的有關法律、法規和規定，規范工程的設計內容和深度，提高工程的設計水平，達到保護環境、節約能源與資源、技術、經濟合理、保證設計質量和安全的要求，制定本標準。

1.0.2本標準適用于新建、改建、擴建的電子工業廢氣處理工程設計。

1.0.3電子工業廢氣處理工程設計除應符合本標準外，尚應符合國家現行有關標準的規定。

2術語

2.0.1 封閉箱體 enclosure

實體的結構物，用于區隔具有排風設施的空問與其他有或無排風設施的空間。

2.0.2設備排風靜壓 exhausting static pressure of equipment

需排風設備封閉箱體內外兩側的壓差，即設備封閉箱體內壓力與設備所處環境壓力之差．通常為負值，單位為Pa。

2.0.3 不相容 incompatible

化學物質經由非故意的結合，可能產生劇烈的反應或無法控制的狀況，其釋放的能量可能引起危險。

2.0.4 局部排風 local exhaust

局部排風的工作原理是在污染源或其鄰近處捕集污染物，并將其排至外界環境，通常會經過空氣凈化或污染因子破壞的處理裝置。

2.0.5 酸性廢氣 acid contaminated exhaust

企業廠區內燃料燃燒和生產工藝過程中產生的酸性污染物氣休的總稱，通常溶于水中會發生反應，形成弱酸，包括二氧化硫、硫化氫、氟化物、氯、氯化氫、磷酸、硝酸、硫酸等。

2.0.6 堿性廢氣 alkaline contaminated exhaust

生產工藝過程中產生的堿性污染物氣體的總稱，通常能與酸們用生成鹽類化合物，包括氨、胺類化合物、氫氧化鈉等。

2.0.7 特種廢氣 special contaminated exhaust

電子產品生產過程中化學氣相淀積、擴散、外延、離子注人、千法刻蝕等工藝設備散發的含有毒性、腐蝕吐、氧化性、自燃性、可燃性、惰性等物質的廢氣。

2.0.8 全氟化合物 perfluorocompounds

電子工業生產過程中化學氣相淀積、干法刻蝕等工序使用的具有高全球變暖潛能（GWP）的氟化合物，包括全氟化合物和氫氟碳化物（FIFCs)．如四氟化碳、六氟乙烷、八氟丙烷 、八氟環丁烷（c-C4F8 )、三氟化氮和三氟甲烷。上述的全氟化合物和氫氟碳化物在工業界統稱為個氟化合物。

2.0.9立即危害生命和健康濃度 immediately dangerous to life and health

對生命產生即刻危害，并對健康造成不可逆的不良影響的環境濃度，或使人降低逃生能力的環境濃度。

2.0.10 限流閥 restricted-flow orifice

置于氣瓶閥體內．把大流量限制在一定范圍內的裝置。

2.0.11 揮發性有機物 volatile organic compounds

沸點在50℃~250℃間，溫度293. 15K時蒸汽壓大于或等于 0.01kPa，或者能夠以氣態分子的形態排放到空氣中的所有有機化合物，但不包括甲烷。

2.0.12 尾氣處理設備 point-of-use abatement

安裝在工藝生產設備附近，并對其排出的尾氣進行處理的設務．通常也稱排風預處理設備或就地尾氣處理設備。

2.0.13 中央廢氣處理系統 centralized abatement system

通常位于廢氣系統的末端，在廢氣排人大氣前對其所含的特定污染因子做終的消減處理，并達到規定的排放濃度或標準的處理系統。

2.0.14 轉輪濃縮系統 rotor-concentrator system

揮發性有機物廢氣通過轉輪的吸附區域后，其污染因子能被有效地吸附于轉輪的吸附材料中，并在轉輪的脫附區域被小流量高溫空氣脫附，使低濃度、大風量揮發性有機物廢氣濃縮為高濃度、小風量的揮發性有機物廢氣的系統。

2.0.15 蓄熱氧化系統 regenerative thermal oxidizing system

通過蓄熱床吸收高溫煙氣的熱量，并預熱未經處理的低溫廢氣，吸熱升溫后的廢氣通過高溫裂解破壞其污染因子結構的系統。

2.0.16 填料洗滌式廢氣處理設備 packed-bed scrubber

經山填料增加氣液廢氣接觸面積的廢氣處理設備，包括本體、填料層、除霧層、循環噴淋系統、循環泵、儲液槽及控制系統等的廢氣處理設備，通常分為水平式和垂直式。

2.0.17 壓人式廢氣處理系統 blow-tb rough abatement system

風機位于廢氣處理設備氣流上游，廢氣處理設備相對于所處環境為正壓的處理系統。

2.0.18 吸人式廢氣處理系統drawing out abatement system

風機位于廢氣處理設備氣流下游，廢氣處理設備相對于所處環境為負壓的處理系統

2.0.19 吹吸式廢氣處理系統 blow-draw abatement system

廢氣處理設備的進、出口均設置風機，廢氣處理設備相對于所處環境為微負壓或微正壓的處理系統。

2.0.20 時間加權平均容許濃度 permissible concentration lime weighted average

以時間為權數規定的8 h工作日、40 h工作周的平均容許接觸濃度。

2.0.21 短時間接觸容許濃度 permissible concentration short term exposure limit

在遵守PC-TWA前提下容許短時間（15 min)接觸的濃度。

2.0.22 高容許濃度 maximum allowable concentration

工作地點空氣中有害物質不應超過的濃度。

3基本規定

3.0.1 產生有害物質的工藝生產設備，宜采用自動化，井應采取密閉、隔離和負壓操作措施。對生產過程中不可避免放散的有害物質在排放前，應采取凈化處理措施，并應達到有關污染物排放標準。

3.0.2 排風系統應按廢氣種類和不相容原則設置。

3.0.3 下列情況之一時，應單獨設置排風系統：

1 不同排風點不同的有害物質混合后能引起燃燒或爆炸；

2 混合后能產生或加劇腐蝕性或毒性；

3 混合后易使蒸汽凝結并聚積粉塵；

4 散發*毒和劇毒物質的房間和設備；

5 排風中含有燃燒爆炸性氣體。

3.0.4 當排風點需求壓力相差250Pa以上，且所需壓力**值的較大值出現在系統后三分之一管路時，宜分別設置排風系統。

3.0.5 排氣系統宜按照大產能時的各工藝設備排氣量計算，并據此確定廢氣處理系統的風量和排風管尺寸。

3.0.6 排風系統設計應符合下列規定：

1 含有燃燒爆炸性物質的局部排風系統應按物理化學性質采取相應的防火防爆措施；

2 排風中亨，染物濃度或排放速率超過國家和地區污染物排放標準時，應進行凈化處理。

3.0.7 排除有燃燒爆炸陛危險物質的排風系統風量應經計算確定，并應符合下列規定：

1 采用局部排風系統時，其風量應按在正常運行和事故情況下風管內燃燒爆炸性危險物質的濃度不大于爆炸下限的50%計算。