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SKGL-1200-Ⅱ CVD管式爐檢測

作者:荀彧 時間:2022-12-05 來源:互聯網

CVD管式爐由開啟式管式爐、高真空分子泵系統、射頻電源系統及多通道高精度數字質量流量控制系統組成,是實驗室生長薄膜石墨烯,金屬薄膜,陶瓷薄膜,復合薄膜等的理想選擇。其原理在于在真空壓力下,加在電感線圈的射頻電場,使反應室氣體發生輝光放電,在輝光發電區域產生大量的電子,這些電子在電場的作用下獲得充足的能量,其本身溫度很高,它與氣體分子相碰撞,使氣體分子活化。它們吸附在襯底上,并發生化學反應生成介質膜,副產物從襯底上解吸,隨主氣流由真空泵抽走,稱為等離子體增強化學氣相沉(PECVD)。CVD管式爐用于高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火等。

主要功能和特點:1、內置兩個溫區,可以營造300℃內不同的溫度梯度;2、雙溫區控制系統采用PID方式控制,控溫儀表中可以設置30段升降溫程序,每個溫區可以單獨控溫;3、采用KF快速法蘭密封,只需要一個卡箍就能完成法蘭的連接,放、取物料方便快捷,避免了螺栓密封人為操作導致漏氣的可能;減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能;4、爐蓋可打開,可以實時觀察燒結的物料狀況,并能迅速降溫,滿足材料驟冷驟熱的實驗需要;5、爐膛采用進口氧化鋁多晶纖維材料,保溫性能好,耐用,拉伸強度高,無雜球,純度高,節能效果明顯優于國內纖維材料;6、加熱元件采用內嵌式高電阻優質合金絲0Cr27Al7Mo2,經久耐用,zui高溫度可達1200℃。7、預留了真空、氣路快速接口,可配合我司真空系統、混氣系統使用;8、預留了485轉換接口,可通過我司軟件,與計算機互聯,可實現單臺或者多臺電爐的遠程控制、實時追蹤、歷史記錄、輸出報表等功能;可安裝無紙記錄裝置,實現數據的存儲、輸出。9、上蓋開啟自動斷電,超溫報警并斷電,漏電保護,操作安全可靠。


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