作者:荀彧 時間:2022-12-13 來源:互聯網
中空軸伺服電機庫存系列:
APM-HB03HBH-SV、APM-HB03HBH-GY、APM-HB03HBH-CD、APM-HB03HBH-CD1、APM-HC03HCH、APM-HB01AAH、APM-HB02AAH、APM-HB04AAH、APM-HC05HCH、APM-HC06HBH、APM-HE09ACH、APM-HE1**CH
應用圍:
1,半導體制造工業
2,設備應用
A.曝光顯影設備(涂膠,顯影)光刻加工程序的主要設備及掌控涂層,曝光,顯影。
B.清洗、蝕刻設備 用于蝕刻,清洗,去膜設備。
C.清洗設備 適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。
技術含量
設備條件
高轉速(5000rpm~8000rpm) 真空軸
加/減速時間 冷卻系統(水冷系統)
低噪音和振動 zui低公差
中空軸尺寸zui小化處理 按照客戶需求柔性定制
采用重疊設計是尺寸zui小化
WhyLSMecapion
具備定制特種電機的豐富經驗
行業資深設計工程師
柔性生產及加工體系
伺服系統控制和驅動技術
中空軸伺服電機和編碼器技術
產品規格:法蘭尺寸:80mm-100mm 轉速5000R-6000R 額定扭矩:0.62Nm-2.5Nm 額定功率:300W-700W 涂膠顯影設備 蝕刻 清洗 去膜設備
開發完成半導體設備8及12晶圓用 spinner電機適用于涂膠,顯影及清洗工程
實現高效率瞬間加速特性-100.000rps以上
可根據客戶的要求,定做各種SPinner電機
按照客戶的要求提供多種中空軸
采用磁性流體密封,強化耐環境性
表面進行特殊涂布處理,強化耐腐蝕性
中空軸伺服電機庫存系列:
APM-HB03HBH-SV、APM-HB03HBH-GY 、APM-HB03HBH-CD、APM-HB03HBH-CD1、APM-HC03HCH、APM-HB01AAH 、APM-HB02AAH、APM-HB04AAH、APM-HC05HCH、APM-HC06HBH、APM-HE09ACH、APM-HE1**CH
1、檢測行業全覆蓋,滿足不同的檢測;
2、實驗室全覆蓋,就近分配本地化檢測;
3、工程師一對一服務,讓檢測更精準;
4、免費初檢,初檢不收取檢測費用;
5、自助下單 快遞免費上門取樣;
6、周期短,費用低,服務周到;
7、擁有CMA、CNAS、CAL等權威資質;
8、檢測報告權威有效、中國通用;
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