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APM-HB03HBH-CT01 中空伺服電機APM-HB03HBH-CT01檢測

作者:荀彧 時間:2022-12-13 來源:互聯網

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中空軸伺服電機庫存系列:
APM-HB03HBH-SV、APM-HB03HBH-GY、APM-HB03HBH-CD、APM-HB03HBH-CD1、APM-HC03HCH、APM-HB01AAH、APM-HB02AAH、APM-HB04AAH、APM-HC05HCH、APM-HC06HBH、APM-HE09ACH、APM-HE1**CH

應用圍:

  1,半導體制造工業
  2,設備應用
   A.曝光顯影設備(涂膠,顯影)光刻加工程序的主要設備及掌控涂層,曝光,顯影。
   B.清洗、蝕刻設備  用于蝕刻,清洗,去膜設備。
   C.清洗設備         適用于物理沖洗清潔、顆粒清洗刷子、聲控及噴霧工藝。

  技術含量

  設備條件

  高轉速(5000rpm~8000rpm)      真空軸
  加/減速時間              冷卻系統(水冷系統)
  低噪音和振動             zui低公差
  中空軸尺寸zui小化處理         按照客戶需求柔性定制
                     采用重疊設計是尺寸zui小化

  WhyLSMecapion

  具備定制特種電機的豐富經驗
  行業資深設計工程師
  柔性生產及加工體系
  伺服系統控制和驅動技術
  中空軸伺服電機和編碼器技術

產品規格:法蘭尺寸:80mm-100mm 轉速5000R-6000R 額定扭矩:0.62Nm-2.5Nm 額定功率:300W-700W 涂膠顯影設備 蝕刻 清洗 去膜設備

開發完成半導體設備8及12晶圓用 spinner電機適用于涂膠,顯影及清洗工程

實現高效率瞬間加速特性-100.000rps以上

可根據客戶的要求,定做各種SPinner電機

按照客戶的要求提供多種中空軸

采用磁性流體密封,強化耐環境性

表面進行特殊涂布處理,強化耐腐蝕性

中空軸伺服電機庫存系列:

APM-HB03HBH-SV、APM-HB03HBH-GY 、APM-HB03HBH-CD、APM-HB03HBH-CD1、APM-HC03HCH、APM-HB01AAH 、APM-HB02AAH、APM-HB04AAH、APM-HC05HCH、APM-HC06HBH、APM-HE09ACH、APM-HE1**CH

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7、擁有CMA、CNAS、CAL等權威資質;

8、檢測報告權威有效、中國通用;

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