標準號：GB/T 38866-2020
中文標準名稱：電子工業用二氯硅烷
英文標準名稱：Dichlorosilane for electronic industry
標準狀態：現行,發布于2020-07-21; 實施于2021-02-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2020-07-21
實施日期：2021-02-01
中國標準分類號：71.100.20
國際標準分類號：71.100.20
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：湖北晶星科技股份有限公司;洛陽中硅高科技有限公司;湖北光谷標準創新科技有限公司;浙江西亞特電子材料有限公司;大連大特氣體有限公司;聯雄投資（上海）有限公司;達州市質量技術監督檢驗測試中心;湖北省標準化與質量研究院;唐山三孚電子材料有限公司;廣東華特氣體股份有限公司;上海華愛色譜分析技術有限公司;上海市計量測試技術研究院;隨州市信息與標準化所;西南化工研究設計院有限公司
相近標準：20184306-T-469 電子工業用二氯硅烷; GB/T 30304-2013 工業用甲基苯基二氯硅烷; 20110311-T-606 工業用甲基苯基二氯硅烷; HG/T 5720-2020 工業用二苯基二氯硅烷; GB/T 15909-2017 電子工業用氣體 硅烷; 20132257-T-469 電子工業用氣體 硅烷; GB/T 23953-2009 工業用二甲基二氯硅烷; 20078953-T-606 工業用二甲基二氯硅烷; GB/T 30302-2013 工業用苯基三氯硅烷; 20110306-T-606 工業用苯基三氯硅烷