標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 38867-2020
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：電子工業(yè)用四氯化硅
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Silicon tetrachloride for electronic industry
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2020-07-21; 實(shí)施于2021-02-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2020-07-21
實(shí)施日期：2021-02-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：71.100.20
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：71.100.20
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
執(zhí)行單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：湖北晶星科技股份有限公司;洛陽中硅高科技有限公司;湖北光谷標(biāo)準(zhǔn)創(chuàng)新科技有限公司;浙江西亞特電子材料有限公司;大連大特氣體有限公司;聯(lián)雄投資（上海）有限公司;達(dá)州市質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督檢驗(yàn)測(cè)試中心;湖北省標(biāo)準(zhǔn)化與質(zhì)量研究院;唐山三孚電子材料有限公司;廣東華特氣體股份有限公司;上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司;上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院;隨州市信息與標(biāo)準(zhǔn)化所;西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司
相近標(biāo)準(zhǔn)：20184310-T-469 電子工業(yè)用四氯化硅; 電子工業(yè)用四氯化硅; HG/T 5745-2020 工業(yè)四氯化硅; YS/T 1195-2017 多晶硅副產(chǎn)品 四氯化硅; GB/T 14602-2014 電子工業(yè)用氣體 氯化氫; 20111285-T-469 電子工業(yè)用氣體 氯化氫; GB/T 14602-1993 電子工業(yè)用氣體 氯化氫; GB/T 31058-2014 電子工業(yè)用氣體 四氟化硅; 20110736-T-469 電子工業(yè)用氣體 四氟化硅; GB/T 17874-2010 電子工業(yè)用氣體 三氯化硼