標準號：GB/T 38447-2020
中文標準名稱：微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗方法
英文標準名稱：Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration
標準狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2020-03-06; 實施于2020-07-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2020-03-06
實施日期：2020-07-01
中國標準分類號：31.200
國際標準分類號：31.200
歸口單位：全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會
執(zhí)行單位：全國微機電技術(shù)標準化技術(shù)委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：北京大學(xué);北京智芯傳感科技有限公司;浙江博亞精密機械有限公司;北京必創(chuàng)科技股份有限公司;中機生產(chǎn)力促進中心;沈陽國儀檢測技術(shù)有限公司;中北大學(xué)
相近標準：20171123-T-469 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗方法; GB/T 26111-2010 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語; 20200872-T-469 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語; 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語; 20075896-T-469 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 術(shù)語; GB/T 38446-2020 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法; 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 薄膜張力特性條帶彎曲試驗方法; 20171124-T-469 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) 帶狀薄膜抗拉性能的試驗方法; GB/T 38341-2019 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS器件的可靠性綜合環(huán)境試驗方法; 20171125-T-469 微機電系統(tǒng)（MEMS）技術(shù) MEMS器件的可靠性綜合環(huán)境試驗方法