GB/T 16596-2019 確定晶片坐標系規范 現行
作者：百檢網 時間：2021-05-26
中文標準名稱：確定晶片坐標系規范
英文標準名稱：Specification for establishing a wafer coordinate system
標準狀態：現行,發布于2019-03-25; 實施于2020-02-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2019-03-25
實施日期：2020-02-01
中國標準分類號：29.045
國際標準分類號：29.045
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：有色金屬技術經濟研究院;浙江海納半導體有限公司;上海合晶硅材料有限公司;有研半導體材料有限公司;浙江省硅材料質量檢驗中心
全部替代標準：GB/T 16596-1996
相近標準：GB/T 16596-1996 確定晶片坐標系規范; 20162491-T-469 確定晶片坐標系規范; 確定晶片坐標系規范; GB/T 28584-2012 城市坐標系統建設規范; 20051760-T-466 城市坐標系統建設規范; GB/T 30112-2013 月球空間坐標系; 20201549-T-801 空間站坐標系; 空間站坐標系; 20100982-T-491 月球空間坐標系; GB/T 32296-2015 航天飛行器常用坐標系
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