標準號：GB/T 37049-2018
中文標準名稱：電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法
英文標準名稱：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method
標準狀態：現行,發布于2018-12-28; 實施于2019-04-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2018-12-28
實施日期：2019-04-01
中國標準分類號：77.040.30
國際標準分類號：77.040.30
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：江蘇中能硅業科技發展有限公司;有研半導體材料有限公司;新特能源股份有限公司;青海黃河上游水電開發有限責任公司新能源分公司;宜昌南玻硅材料有限公司;洛陽中硅高科技有限公司
相近標準：20141873-T-469 電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定 電感耦合等離子體質譜法; 20210891-T-469 多晶硅表面金屬雜質含量測定 酸浸取-電感耦合等離子體質譜法; 多晶硅表面金屬雜質含量測定 酸浸取-電感耦合等離子體質譜法; GB/T 24582-2009 酸浸取 電感耦合等離子質譜儀測定多晶硅表面金屬雜質; 20073569-T-469 酸浸取 電感耦合等離子質譜儀測定多晶硅表面金屬雜質; GB/T 39145-2020 硅片表面金屬元素含量的測定 電感耦合等離子體質譜法; 20173545-T-469 硅片表面金屬元素含量的測定 電感耦合等離子體質譜法; 硅片表面金屬元素含量的測定 電感耦合等離子體質譜法; 20068135-T-469 食品中鋁的測定 電感耦合等離子體質譜法; SJ/T 11555-2015 用電感耦合等離子體質譜法測定硝酸中金屬元素的含量