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GB/T 4060-2018 硅多晶真空區熔基硼檢驗方法 現行

作者：百檢網 時間：2021-05-26

標準號：GB/T 4060-2018
中文標準名稱：硅多晶真空區熔基硼檢驗方法
英文標準名稱：Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method
標準狀態：現行,發布于2018-09-17; 實施于2019-06-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2018-09-17
實施日期：2019-06-01
中國標準分類號：77.040
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：江蘇中能硅業科技發展有限公司;洛陽中硅高科技有限公司;亞洲硅業（青海）有限公司;峨嵋半導體材料研究所
全部替代標準：GB/T 4060-2007
相近標準：GB/T 4060-1983 硅多晶真空區熔基硼檢驗方法; 20153656-T-469 硅多晶真空區熔基硼檢驗方法; 20031797-T-610 硅多晶真空區熔基硼檢驗方法; 硅多晶真空區熔基硼檢驗方法; GB/T 4060-2007 硅多晶真空區熔基硼檢驗方法; GB/T 4059-1983 硅多晶氣氛區熔磷檢驗方法; GB/T 4061-2009 硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法; GB/T 4059-2018 硅多晶氣氛區熔基磷檢驗方法; GB/T 4061-1983 硅多晶斷面夾層化學腐蝕檢驗方法; 20153657-T-469 硅多晶氣氛區熔基磷檢驗方法

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