GB/T 12964-2018 硅單晶拋光片 現行
作者：百檢網 時間：2021-05-26
中文標準名稱：硅單晶拋光片
英文標準名稱：Monocrystalline silicon polished wafers
標準狀態：現行,發布于2018-09-17; 實施于2019-06-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2018-09-17
實施日期：2019-06-01
中國標準分類號：29.045
國際標準分類號：29.045
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：有研半導體材料有限公司;浙江金瑞泓科技股份有限公司;浙江省硅材料質量檢驗中心;天津市環歐半導體材料技術有限公司;上海合晶硅材料有限公司;浙江海納半導體有限公司;有色金屬技術經濟研究院
全部替代標準：GB/T 12964-2003
相近標準：GB/T 12964-2003 硅單晶拋光片; 20151794-T-469 硅單晶拋光片; 硅單晶拋光片; GB/T 30656-2014 碳化硅單晶拋光片; GB/T 29506-2013 300mm 硅單晶拋光片; 20200799-T-469 碳化硅單晶拋光片; 碳化硅單晶拋光片; 20080028-T-469 300mm 硅單晶拋光片; 20110061-T-469 碳化硅單晶拋光片; SJ/T 11502-2015 碳化硅單晶拋光片規范
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