標準號：GB/T 25915.9-2018
中文標準名稱：潔凈室及相關受控環境 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級
英文標準名稱：Cleanrooms and associated controlled environments—Part 9: Classification of surface cleanliness by particle concentration
標準狀態：現行,發布于2018-06-07; 實施于2018-10-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2018-06-07
實施日期：2018-10-01
中國標準分類號：13.040.35
國際標準分類號：13.040.35
歸口單位：全國潔凈室及相關受控環境標準化技術委員會
執行單位：全國潔凈室及相關受控環境標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中天道成（蘇州）潔凈技術有限公司;蘇州安泰空氣技術有限公司;蘇州凈化工程安裝有限公司;中電投工程研究檢測評定中心;深圳市億天凈化技術有限公司;中國工程物理研究院八所;深圳市吉隆潔凈技術有限公司;蘇州工業園區嘉合環境技術工程有限公司;中國電子工程設計院;中國電子學會潔凈技術分會;北京世源希達工程技術公司;深圳新科特種裝飾工程公司
采標情況：本標準等同采用ISO國際標準：ISO 14644-9:2012。
采標中文名稱:潔凈室及相關受控環境 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級。
相近標準：20130222-T-469 潔凈室及相關受控環境 第9部分：按粒子濃度劃分表面潔凈度等級; 20154023-T-469 潔凈室及相關受控環境 第10部分：按化學物濃度劃分表面潔凈度等級; 20193268-T-469 潔凈室及相關受控環境 第1部分：按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級; 潔凈室及相關受控環境 第1部分：根據粒子濃度劃分空氣潔凈度等級; 潔凈室與相關受控環境 第10部分：按表面化學物濃度劃分表面潔凈度等級; 潔凈室及相關受控環境 第12部分：按納米尺度粒子濃度劃分的空氣潔凈度等級; 潔凈室及相關受控環境 第2部分：用粒子濃度監測提供潔凈室空氣潔凈度的證據; 潔凈室與相關受控環境 第8部分：按化學物濃度劃分空氣潔凈度等級; GB/T 25915.1-2010 潔凈室及相關受控環境 第1部分：空氣潔凈度等級; 20075920-T-469 潔凈室及相關受控環境 第1部分：空氣潔凈度等級