標準號：GB/T 35310-2017
中文標準名稱：200mm硅外延片
英文標準名稱：200mm silicon epitaxial wafer
標準狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2017-12-29; 實施于2018-07-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2017-12-29
實施日期：2018-07-01
中國標準分類號：29.045
國際標準分類號：29.045
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會
執(zhí)行單位：全國半導體設備和材料標準化技術(shù)委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：南京國盛電子有限公司;有色金屬技術(shù)經(jīng)濟研究院
相近標準：20141871-T-469 200mm硅外延片; JB/T 6596-1993 滾齒機 精度(*大工件直徑小于200mm); SJ/T 11761-2020 200mm及以下晶圓用半導體設備裝載端口規(guī)范; 20032668-T-607 道路交通信號燈 200mm圓形信號燈的光度特性; GB/T 20149-2006 道路交通信號燈 200mm圓形信號燈的光度特性; 工業(yè)車輛 穩(wěn)定性驗證 第21部分：操作者位置起升高度大于1 200mm的揀選車; 20200542-T-604 工業(yè)車輛 穩(wěn)定性驗證 第4部分：托盤堆垛車、雙層堆垛車和操作者位置起升高度不大于1 200mm的揀選車; 工業(yè)車輛 穩(wěn)定性驗證 第4部分：托盤堆垛車、雙層堆垛車和操作者位置起升高度不大于1 200mm的揀選車; SH/T 0190-1992 液體潤滑劑摩檫系數(shù)測定法(MM-200法); GB/T 14139-2009 硅外延片