標(biāo)準(zhǔn)號：GB/T 34971-2017
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：半導(dǎo)體制造用氣體處理指南
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Guide for gaseous effluent handling in semiconductor industry
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2017-11-01; 實(shí)施于2018-02-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類型：國家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2017-11-01
實(shí)施日期：2018-02-01
中國標(biāo)準(zhǔn)分類號：71.040.40
國際標(biāo)準(zhǔn)分類號：71.040.40
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
執(zhí)行單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會
主管部門：國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會
起草單位：中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司;高麥儀器公司;東莞市聯(lián)臣電子科技有限公司;上海市計(jì)量測試技術(shù)研究院;西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司;廣東華特氣體股份有限公司;上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司
相近標(biāo)準(zhǔn)：20132255-T-469 半導(dǎo)體制造用氣體處理指南; SJ/T 11763-2020 半導(dǎo)體制造設(shè)備人機(jī)界面規(guī)范; QB/T 5369-2019 半導(dǎo)體制冷器具; GB/T 29845-2013 半導(dǎo)體制造設(shè)備的*終裝配、包裝、運(yùn)輸、拆包及安放導(dǎo)則; 20100113-T-469 半導(dǎo)體制造設(shè)備的*終裝配、包裝、運(yùn)輸、拆包及安放導(dǎo)則; SJ/T 11762-2020 半導(dǎo)體設(shè)備制造信息標(biāo)識要求; SJ/T 11395-2009 半導(dǎo)體照明術(shù)語; GB/T 14264-2009 半導(dǎo)體材料術(shù)語; GB/T 37031-2018 半導(dǎo)體照明術(shù)語; 20181808-T-469 半導(dǎo)體材料術(shù)語