標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 34085-2017
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：電子工業(yè)用氣體 三氟甲烷
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱(chēng)：Gas for electronic industry—Trifluoromethane
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2017-07-31; 實(shí)施于2017-11-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類(lèi)型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2017-07-31
實(shí)施日期：2017-11-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：71.100.20
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類(lèi)號(hào)：71.100.20
歸口單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
執(zhí)行單位：全國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門(mén)：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)
起草單位：國(guó)家化學(xué)工業(yè)氣體產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)中心（福建）;浙江巨化股份有限公司;浙江省化工研究院;大連大特氣體有限公司;東莞市聯(lián)臣電子科技有限公司;西南化工研究設(shè)計(jì)院有限公司;廣東華特氣體股份有限公司;高麥儀器公司;中昊光明化工研究設(shè)計(jì)院有限公司;上海華愛(ài)色譜分析技術(shù)有限公司;天津長(zhǎng)蘆華信化工股份有限公司
相近標(biāo)準(zhǔn)：電子工業(yè)用氣體 氟甲烷; 20132259-T-469 電子工業(yè)用氣體 三氟甲烷; GB/T 15909-2017 電子工業(yè)用氣體 硅烷; GB/T 33774-2017 電子工業(yè)用氣體 丙烯; GB/T 14601-2009 電子工業(yè)用氣體 氨; GB/T 16945-2009 電子工業(yè)用氣體 氬; GB/T 16944-2009 電子工業(yè)用氣體 氮; GB/T 14604-2009 電子工業(yè)用氣體 氧; GB/T 16942-2009 電子工業(yè)用氣體 氫; GB/T 16943-2009 電子工業(yè)用氣體 氦