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GB/T 15909-2017 電子工業(yè)用氣體硅烷現(xiàn)行

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-05-26

標準號：GB/T 15909-2017
中文標準名稱：電子工業(yè)用氣體硅烷
英文標準名稱：Gas for electronic industry—Silane
標準狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2017-05-31; 實施于2017-12-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2017-05-31
實施日期：2017-12-01
中國標準分類號：71.100.20
國際標準分類號：71.100.20
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會
執(zhí)行單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：西南化工研究設(shè)計院有限公司;廣東華特氣體股份有限公司;高麥儀器公司;大連大特氣體有限公司;上海計量測試研究院;江蘇中能硅業(yè)科技發(fā)展有限公司;南京亞格泰新能源材料有限公司;安徽省滁州市硅谷特種氣體有限公司;浙江賽林硅業(yè)有限公司;中昊光明化工研究設(shè)計院有限公司;天津長蘆華信化工股份有限公司;上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司;化工氣體質(zhì)檢中心;浙江中寧硅業(yè)有限公司;浙江大學(xué)
全部替代標準：GB/T 15909-2009
相近標準：20132257-T-469 電子工業(yè)用氣體硅烷; GB/T 15909-2009 電子工業(yè)用氣體硅烷(SiH4); GB/T 15909-1995 電子工業(yè)用氣體硅烷(SiH4); 20064396-T-469 電子工業(yè)用氣體硅烷(SiH4); GB/T 33774-2017 電子工業(yè)用氣體丙烯; GB/T 14601-2009 電子工業(yè)用氣體氨; GB/T 16945-2009 電子工業(yè)用氣體氬; GB/T 16944-2009 電子工業(yè)用氣體氮; GB/T 14604-2009 電子工業(yè)用氣體氧; GB/T 16942-2009 電子工業(yè)用氣體氫

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