標(biāo)準(zhǔn)號(hào)：GB/T 33826-2017
中文標(biāo)準(zhǔn)名稱：玻璃襯底上納米薄膜厚度測(cè)量 觸針式輪廓儀法
英文標(biāo)準(zhǔn)名稱：Measurement of nanofilm thickness on glass substrate—Profilometric method
標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2017-05-31; 實(shí)施于2017-12-01; 廢止
標(biāo)準(zhǔn)類型：國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)
標(biāo)準(zhǔn)性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2017-05-31
實(shí)施日期：2017-12-01
中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：71.040.99
國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)分類號(hào)：71.040.99
歸口單位：全國(guó)納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
執(zhí)行單位：全國(guó)納米技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)
主管部門：中國(guó)科學(xué)院
起草單位：中國(guó)建筑材料科學(xué)研究總院;宣城晶瑞新材料有限公司;中國(guó)建材檢驗(yàn)認(rèn)證集團(tuán)股份有限公司;廣東中科華大工程技術(shù)檢測(cè)有限公司;漳州旗濱玻璃有限公司;冶金工業(yè)信息標(biāo)準(zhǔn)研究院;中國(guó)建材檢驗(yàn)認(rèn)證集團(tuán)（陜西）有限公司;哈爾濱量具刃具集團(tuán)有限責(zé)任公司量?jī)x研究所
相近標(biāo)準(zhǔn)：20068673-T-491 玻璃襯底上納米薄膜厚度測(cè)量 觸針式輪廓儀法; GB/T 11378-2005 金屬覆蓋層 覆蓋層厚度測(cè)量 輪廓儀法; YS/T 839-2012 硅襯底上絕緣體薄膜厚度及折射率的橢圓偏振測(cè)試方法; GB/T 14847-2010 重?fù)诫s襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測(cè)量方法; 20081146-T-469 重?fù)诫s襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測(cè)量方法; GB/T 14847-1993 重?fù)诫s襯底上輕摻雜硅外延層厚度的紅外反射測(cè)量方法; GB/T 11378-1989 金屬覆蓋層厚度 輪廓尺寸測(cè)量方法; 20202801-T-491 納米技術(shù) 亞納米厚度石墨烯薄膜載流子遷移率及方塊電阻測(cè)量方法; 納米技術(shù) 亞納米厚度石墨烯薄膜載流子遷移率及方塊電阻測(cè)量方法; GB/T 36969-2018 納米技術(shù) 原子力顯微術(shù)測(cè)定納米薄膜厚度的方法