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GB/T 32281-2015 太陽能級硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測定二次離子質譜法現行

作者：百檢網時間：2021-05-26

標準號：GB/T 32281-2015
中文標準名稱：太陽能級硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測定二次離子質譜法
英文標準名稱：Test method for measuring oxygen, carbon, boron and phosphorus in solar silicon wafers and feedstock by secondary ion mass spectrometry
標準狀態：現行,發布于2015-12-10; 實施于2017-01-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2015-12-10
實施日期：2017-01-01
中國標準分類號：77.040.30
國際標準分類號：77.040.30
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：江蘇協鑫硅材料科技發展有限公司;中鋁寧夏能源集團有限公司;洛陽鴻泰半導體有限公司;北京合能陽光新能源技術有限公司;寧夏銀星多晶硅有限責任公司;新特能源股份有限公司
相近標準：20120288-T-469 太陽能級硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的測定二次離子質譜法; 太陽能級硅片切割用噴砂玻璃; 太陽能級硅片切割用環氧樹脂膠; DB13/T 1314-2010 太陽能級單晶硅方棒、單晶硅片; GB/T 37051-2018 太陽能級多晶硅錠、硅片晶體缺陷密度測定方法; 20141879-T-469 太陽能級多晶硅錠、硅片晶體缺陷密度測定方法; GB/T 25074-2017 太陽能級多晶硅; GB/T 25074-2010 太陽能級多晶硅; 20080034-T-469 太陽能級多晶硅; 20141898-T-469 太陽能級多晶硅

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