GB/T 32282-2015 氮化鎵單晶位錯密度的測量 陰極熒光顯微鏡法 現行
作者：百檢網 時間：2021-05-26
中文標準名稱：氮化鎵單晶位錯密度的測量 陰*熒光顯微鏡法
英文標準名稱：Test method for disoclation density of GaN single crystal—Cathodoluminescence spectroscopy
標準狀態：現行,發布于2015-12-10; 實施于2016-11-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2015-12-10
實施日期：2016-11-01
中國標準分類號：77.040
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：中國科學院蘇州納米技術與納米仿生研究所;蘇州納維科技有限公司
相近標準：20120269-T-469 氮化鎵單晶位錯密度的測量 陰*熒光顯微鏡法; GB/T 32189-2015 氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法; 20120267-T-469 氮化鎵單晶襯底表面粗糙度的原子力顯微鏡檢驗法; GB/T 8760-2006 砷化鎵單晶位錯密度的測量方法; GB/T 8760-1988 砷化鎵單晶位錯密度的測量方法; 20021943-T-610 砷化鎵單晶位錯密度的測量方法; JB/T 7794-1995 偏光顯微鏡; GB/T 24665-2009 偏光顯微鏡; 20081577-T-604 偏光顯微鏡; GB/T 33763-2017 藍寶石單晶位錯密度測量方法
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