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GB/T 31352-2014 藍寶石襯底片翹曲度測試方法現(xiàn)行

作者：百檢網(wǎng) 時間：2021-05-26

標準號：GB/T 31352-2014
中文標準名稱：藍寶石襯底片翹曲度測試方法
英文標準名稱：Test methods for warp of sapphire substrates
標準狀態(tài)：現(xiàn)行,發(fā)布于2014-12-31; 實施于2015-09-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質(zhì)：推薦性
發(fā)布日期：2014-12-31
實施日期：2015-09-01
中國標準分類號：77.040.99
國際標準分類號：77.040.99
歸口單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會
執(zhí)行單位：全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：江蘇協(xié)鑫軟控設(shè)備科技發(fā)展有限公司;北京合能陽光新能源技術(shù)有限公司;中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所
相近標準：20110739-T-469 藍寶石襯底片翹曲度測試方法; GB/T 31353-2014 藍寶石襯底片彎曲度測試方法; 20110740-T-469 藍寶石襯底片彎曲度測試方法; GB/T 30857-2014 藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法; 20110054-T-469 藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法; 藍寶石圖形化襯底片; DB44/T 1328-2014 藍寶石圖形化襯底片測試技術(shù)規(guī)范; GB/T 34504-2017 藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法; 20132165-T-469 藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法; GB/T 31093-2014 藍寶石晶錠應(yīng)力測試方法

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