GB/T 31058-2014 電子工業用氣體 四氟化硅 現行
作者：百檢網 時間：2021-05-26
中文標準名稱：電子工業用氣體 四氟化硅
英文標準名稱：Gases for electronic industry―Silicon tetrafluoride
標準狀態：現行,發布于2014-12-22; 實施于2015-07-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2014-12-22
實施日期：2015-07-01
中國標準分類號：71.100.20
國際標準分類號：71.100.20
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：核工業理化工程研究院華核新技術開發公司;綠菱電子材料（天津）有限公司;貴州大學;佛山市華特氣體有限公司;上海華愛色譜分析技術有限公司;西南化工研究設計院有限公司
相近標準：20110736-T-469 電子工業用氣體 四氟化硅; 20091224-T-469 電子工業用氣體 四氟化碳; GB/T 32386-2015 電子工業用氣體 六氟化鎢; GB/T 21287-2007 電子工業用氣體 三氟化氮; 電子工業用氣體 三氟化氮; 20051092-T-469 電子工業用氣體 三氟化氮; 20110735-T-469 電子工業用氣體 六氟化鎢; GB/T 18867-2014 電子工業用氣體 六氟化硫; GB/T 14603-2009 電子工業用氣體 三氟化硼; GB/T 18867-2002 電子工業用氣體 六氟化硫
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