GB/T 30857-2014 藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法 現行
作者：百檢網 時間：2021-05-26
中文標準名稱：藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法
英文標準名稱：Standard test method for thickness and thickness variation on sapphire substrates
標準狀態：現行,發布于2014-07-24; 實施于2015-04-01; 廢止
標準類型：國家標準
標準性質：推薦性
發布日期：2014-07-24
實施日期：2015-04-01
中國標準分類號：77.040
國際標準分類號：77.040
歸口單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位：全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門：國家標準化管理委員會
起草單位：協鑫光電科技控股有限公司;浙江昀豐新能源科技有限公司;中國科學院上海光機所
相近標準：20110054-T-469 藍寶石襯底片厚度及厚度變化測試方法; GB/T 31352-2014 藍寶石襯底片翹曲度測試方法; 20110739-T-469 藍寶石襯底片翹曲度測試方法; GB/T 31353-2014 藍寶石襯底片彎曲度測試方法; 20110740-T-469 藍寶石襯底片彎曲度測試方法; 藍寶石圖形化襯底片; DB44/T 1328-2014 藍寶石圖形化襯底片測試技術規范; GB/T 34504-2017 藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法; 20132165-T-469 藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法; GB/T 31093-2014 藍寶石晶錠應力測試方法
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