標準號:GB/T 30868-2014
中文標準名稱:碳化硅單晶片微管密度的測定 化學腐蝕法
英文標準名稱:Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching
標準狀態:現行,發布于2014-07-24; 實施于2015-02-01; 廢止
標準類型:國家標準
標準性質:推薦性
發布日期:2014-07-24
實施日期:2015-02-01
中國標準分類號:29.045
國際標準分類號:29.045
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門:國家標準化管理委員會
起草單位:中國電子科技集團公司第四十六研究所;中國電子技術標準化研究院
相近標準:20091226-T-469 碳化硅單晶片微管密度的測定 化學腐蝕法; GB/T 30866-2014 碳化硅單晶片直徑測試方法; 20091221-T-469 碳化硅單晶片直徑測試方法; 碳化硅單晶; GB/T 31351-2014 碳化硅單晶拋光片微管密度無損檢測方法; 20110062-T-469 碳化硅單晶拋光片微管密度無損檢測方法; GB/T 32278-2015 碳化硅單晶片平整度測試方法; 20120289-T-469 碳化硅單晶片平整度測試方法; 20202830-T-469 碳化硅單晶位錯密度的測試方法; 碳化硅單晶位錯密度的測試方法
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