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GB/T 29852-2013 光伏電池用硅材料中P、As、Sb施主雜質含量的二次離子質譜測量方法 現行

作者:百檢網 時間:2021-05-26

標準號:GB/T 29852-2013
中文標準名稱:光伏電池用硅材料中P、As、Sb施主雜質含量的二次離子質譜測量方法
英文標準名稱:Test method for measuring Phosphorus, Arsenic and Antimony in silicon materials used for photovoltaic applications by secondary ion mass spectrometry
標準狀態:現行,發布于2013-11-12; 實施于2014-04-15; 廢止
標準類型:國家標準
標準性質:推薦性
發布日期:2013-11-12
實施日期:2014-04-15
中國標準分類號:29.045
國際標準分類號:29.045
歸口單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會
執行單位:全國半導體設備和材料標準化技術委員會
主管部門:國家標準化管理委員會
起草單位:信息產業專用材料質量監督檢驗中心;國家電子功能與輔助材料質量監督檢驗中心;中國電子技術標準化研究院;天津市環歐半導體材料技術有限公司
相近標準:20100120-T-469 光伏電池用硅材料中P、As、Sb施主雜質含量的二次離子質譜測量方法; GB/T 29851-2013 光伏電池用硅材料中B、Al受主雜質含量的二次離子質譜測量方法; 20100118-T-469 光伏電池用硅材料中B、Al受主雜質含量的二次離子質譜測量方法; GB/T 31854-2015 光伏電池用硅材料中金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法; 20100119-T-469 光伏電池用硅材料中金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法; GB/T 29849-2013 光伏電池用硅材料表面金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法; 20100116-T-469 光伏電池用硅材料表面金屬雜質含量的電感耦合等離子體質譜測量方法; GB/T 29850-2013 光伏電池用硅材料補償度測量方法; 20100117-T-469 光伏電池用硅材料補償度測量方法; DB35/T 1146-2011 硅材料中雜質元素含量測定 輝光放電質譜法

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